本装置是以点光源超高压汞灯为光源的准直镜式平行光曝光装置。主要结构由光源部、吸附式曝光台部、掩模部组成，曝光方式为接触式和接近式曝光方式。为了曝光管理，还搭载了积分光量计，容易设定适当的曝光量，是带支架的紧凑设计的曝光装置。

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