1.设备名称：平行光曝光设备HTE-510-EHC(1Kw)
2.装置简介：本装置采用点光源超高压汞灯作为光源。准直镜系统的平行光曝光装置。主要结构由“光源部分”、“吸附式曝光台部分”等组成，曝光方式有真空贴合式（硬接触）和垫片接近式（非接触式）。为了管理曝光量，配备了“积分光量计”，可以以适当的曝光量进行曝光。是带支架的紧凑设计的装置。
3.设备规格
①光源（灯）：超高压汞灯1Kw（风冷式）
②曝光面积：150mm x 150mm（最大）
③光学部分组成：
1）椭圆聚光镜
2）平面镜（1）、（2）
3）积分器透镜单元
4）准直镜
5)滤光片插入机构（手动切换方式）
□请另外准备90mm、2mm厚的滤光片。
4.曝光快门：基于气动快门的开关方式
5.曝光量管理：基于积分光度计（管理波长365nm），具有20通道存储功能
6.面罩：玻璃面罩152 x 152 x t3.0mm
127 x 127 x t2.3mm
127毫米使用掩模适配器
7.工件：100mm x 100mm厚度约0.1~1.0 mm
8.曝光台：吸附式台
吸附工件后，将玻璃掩模放置在曝光台上。
9.光学性能：波长约300~470nm 9.光学性能：波长约300~470nm
（主波长365nm、405nm、436nm）
平行度准直半角≤1.5°
偏角≤1.0°
：紫外线照度约40mW/cm^2初始值(@365nm)
*使用ORC制造的UV-M03测量仪器
：照度分布90%以上
10.实用程序：1)电源三相200V(50/60Hz)
断路器开关30A
10.5 KVA
2)压缩空气约0.5 MPa
3）所需排气量约8m^3/min
11.图纸：图号310305外观图*带框架 11.图纸：图号310305外观图*带框架
图号310306代理SIM机构说明图
12.饰面：外部烤漆饰面 12.饰面：外部烤漆饰面
内饰烤漆、耐热处理饰面
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产品型号：HTE-510-EHC
更新时间：2025-08-14
厂商性质：代理商
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