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Thin film Metrology薄膜测量系统
产品简介:

StellarNetThin film Metrology薄膜测量系统是现代光学镀膜、半导体器件、显示器件、光伏材料以及高性能功能化表面研发与生产环节的重要手段。对膜层厚度、光学特性以及镀膜均匀性开展精准表征,有助于保障产品性能、工艺稳定性以及生产良率。

产品型号:

更新时间:2026-09-03

厂商性质:代理商

访问量:9

服务热线

86-021-59169693

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产品介绍
品牌StellarNet价格区间20万-30万
产地类别进口应用领域环保,化工,能源,电子/电池,综合

StellarNetThin film Metrology薄膜测量系统产品概述:

薄膜量测是现代光学镀膜、半导体器件、显示器件、光伏材料以及高性能功能化表面研发与生产环节的重要手段。对膜层厚度、光学特性以及镀膜均匀性开展精准表征,有助于保障产品性能、工艺稳定性以及生产良率。

StellarNet 薄膜量测系统融合先进光谱分析与光谱反射检测技术,配套高性能光谱仪、光学配件以及功能优异的分析软件,实现各类薄膜与镀膜样品检测。该设备平台适配光学镀膜表征、半导体量测、工艺监控以及前沿材料研究,可应用于科研、生产、质量控制等多种场景。

薄膜厚度测量:

Thin film Metrology薄膜测量系统

采用非接触式光谱光学技术测量薄膜与涂层厚度,适用于光学镀膜、半导体器件、显示器件以及前沿材料研究场景。

反射‑透射光谱法

Thin film Metrology薄膜测量系统


通过分析反射光信号,测定薄膜厚度与光学特性。可对镀膜开展表征及工艺监控,检测速度快、结果准确。

行业应用:

了解薄膜测量系统如何服务于多行业的科研、生产以及质量控制工作。

Thin film Metrology薄膜测量系统

可测量半导体制造中的各类薄膜、介质层、光刻胶以及沉积涂层,支持晶圆表征、工艺监控与质量控制。

太阳能与光伏测量:

借助光谱光学技术分析薄膜太阳能电池、光伏镀膜及能源材料,可用于研发以及生产质量验证。

显示技术测量

对 LCD、OLED 以及 Micro‑LED 显示屏所用薄膜与涂层开展表征,支持工艺开发、质量保证以及显示性能评估。

光子器件测量采用非接触薄膜量测与光学表征技术,对硅光子学器件、光子集成电路(PIC)、光波导、激光光学器件以及量子光子器件开展表征。

光学镀膜测量可对增透膜、光学滤光片、反射镜以及激光光学元件进行表征。借助光谱量测技术,核验镀膜厚度、均匀性以及光学性能。

StellarNet Thin film Metrology薄膜测量系统选型表:

型号波长范围分辨率膜厚范围光源类型价格
TF-VIS400–1000 nm<2 nm10 nm–75 μm可见光 / 近红外$11,500
TF-UVVIS200–1100 nm<2.5 nm1 nm–75 μm紫外 + 可见光 / 近红外$14,625
TF-NIR900–1700 nm<5 nm100 nm–300 μm可见光 / 近红外$22,655
TF-VIS-NIR400–1700 nm<2 nm(可见光),<5>1000 nm)10 nm–300 μm可见光 / 近红外$25,280
TF-UVVIS-NIR200–1700 nm<2 nm(可见光),<5>1000 nm)1 nm–300 μm紫外 + 可见光 / 近红外$28,245

















显微测量系统:

型号配置说明价格
TF-MicroStellarNet 定制显微镜,配备 4×、10×、40× 物镜,CMOS 130 万像素相机,光开关及所需耦合配件$11,550.00
TF-Micro-AMStellarNet 定制自动映射显微镜,配备 4×、10×、40× 物镜,CMOS 130 万像素相机,光开关及所需耦合配件$30,975.00









技术规格:

规格项规格值说明
精度0.1 埃或 0.01%(取较大值)重复测量的一致性
准确度0.2% 或 10 埃(取较大值)受膜层堆叠结构影响
稳定性0.2 埃或 0.02%(取较大值)长时间测量稳定性
光斑尺寸标准 3 毫米,最小可选至 3 微米测量区域大小
样品尺寸最小 1 毫米起可测样品最小尺寸
电脑操作系统StellarPro‑TFC 软件,支持 32 位与 64 位操作系统兼容 Windows 32/64 位






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