采用紫外线照射光源使用汞氙灯作为光源，是一种通过使用紫外线冷镜和光学积分器，只选择和照射具有优良均匀性的恒定偏转光的光源装置。

采用紫外线照射光源使用汞氙灯作为光源，是一种通过使用紫外线冷镜和光学积分器，只选择和照射具有优良均匀性的恒定偏转光的光源装置。

2. 设备名称/型号

紫外偏振光曝光系统

型号：HC-300PUFM-50

3. 适应样品尺寸

工作台尺寸：100mmx100mm

4. 设备尺寸

参照设备外观图

5. 设备配置

设备构成

1）辐照光源单元           1台

2）灯具照明电源单元       1台

3）干扰滤波片（HBPF313） 1片

4）试料平台               1台

5）样品吸附泵箱           1台

6）电缆类                 1式

7）Hg-Xe灯（300W）      1件

8）维修镜光轴调整镜       1片

6. 设备性能

1）照射光源部分

①使用灯：Hg-Xe300W（UXM-300YA）

②灯泡寿命：平均1000小时（保修500小时）

③照射光谱特性：250nm~500nm

④主波长：313nm

(5) 辐照照度：2 - 4mw/cm^2可调

※使用照度计OAI-306测量得到的313nm，作为照度保证值。

 (6) 可调辐照方式：手动调节（通过安装手动辐照调节机制进行调节）。

 (7) 辐照面积：有效□50毫米

 (8) 辐照距离：约20毫米

（9） 照度分布：在±10%以内（@照度2-4mw）。

（10）消光比：50：1以上（消光比=S波：P波=χ：1）

（11）滤光片支架：φ50.8 mm滤光片专用

⑫冷却：强制空冷

 ⑬重量：约50公斤

 (⑭涂装颜色：根据客户的要求。

(15) 外部尺寸：见附图。

2）光源电源部分

①输入电压：单相100V±10P/60Hz

②功耗：MAX.700 VA

③光源控制：开关恒功率控制

④功率可调：约250~300W

⑤稳定度：±2%以内

⑥冷却：自然对流冷却

⑦重量：约5千克

⑧涂装颜色：根据顾客的要求

⑨外形尺寸：见附件附图

⑩快门控制：手动控制（通过开关任意开闭，通过计时器控制时间）

7. 干扰滤波器（HBPF313）

①313nm带通滤波器    1件

可以通过安装一个高透光率的干扰过滤器来选择照射波长。

1) LWPF: 313nm / 365nm / 405nm / 436nm    4种类型

2) HBPF：254nm / 313nm / 365nm / 405nm / 436nm   5种类型

8. 样品台

①样品尺寸：最大100mmx100mm

②高度调节机构：Z轴平台

③冲击机构：0~50度角度可变（1度单位）

④旋转机构：90度旋转机构

⑤吸附机构：防止试料脱落的吸附机构

※吸附用孔的构造是跟客户另外协商决定

9. 样品吸附（真空）泵箱

①输入电压：单相100V（由电源部分供电）

②重量：约5Kg

③漆面颜色：黑色（面板 银色）

10. 安全措施

1）绝缘电阻：各异极间DC500V20MΩ以上

2）绝缘耐压：输入-输出间AC1000V  1分钟

输出到最终聚集AC500V   1分钟

3）泄漏电流：AC200V下2mA以下（1kΩ/0.15μF测量）

4）残余能量：在施加最大输入电压·空载的情况下，从电源关闭开始经过1分钟后，控制在42V以下。

5）噪音对策：1μsec.±600V（正常共模）下无误操作

6）联锁：光源开启状态下，打开维修保养仓盖，灯OFF

照射时打开丙烯酸盖，即时关闭

11. 环境条件

1）使用环境

①环境温度：20℃~30℃

②相对湿度：65%Rh以下（无结露）

③清洁度：建议在1000级以下

2）保存环境

①环境温度：10℃~40℃

②相对湿度：80%Rh以下（无结露）

※请不要在有腐蚀性气体·多粉尘·可燃性的气氛和水滴的危险的环境中使用。（必须要在特殊环境下使用时，请咨询制造商。）

12. 电源

1）电源：单相100V±10%   50/60Hz  MAX10A

13. 消耗品

1）灯泡：平均寿命1000小时保证寿命500小时

型号：UXM-300YA

2）椭圆镜：平均寿命3000小时

寿命因使用环境而异

3）UV平面镜：平均寿命3000小时

寿命因使用环境而异

4）旋转螺线管：平均寿命200,000次

5）切换单元：平均寿命50,000小时

14. 验收条件

另行协商

15. 保证事项

对于我们设计和制造的交付设备，在验收后一年内出现的缺陷和故障，我们将迅速免费维修和更换。但是下列的情况不属于保修对象。

①因跌落或极度冲击而引起的故障和损伤

②在影响电路的灰尘多的地方使用状态下发生的故障和损坏

③因不当修理改造而引起的故障和损坏

④由于施加异常电压而引起的故障和损坏

⑤在腐蚀性气体环境中使用及因天灾引起的故障和损坏

⑥非消耗品指定零件的情况

⑦未按照操作说明使用的情况

⑧经调查发现使用方法异常的情况

⑨在规格之外运行的情况

⑩因灾害等原因发生故障的情况

※因使用本设备而造成的损坏或损失不在保修范围内

1）灯泡保修

在正常使用条件下，在亮灯累计500小时内不亮或损坏的，

免费交换。但是，由于灯破裂造成的光学元件损坏需要支付费用。

2）设备保修

除耗材外，在交付一年内按照使用操作书正常使用状态下

如果发生故障，将免费修理。

※本规格书的内容如有进一步变更，将制作并提交交付规格书。

16. 提交文件（决定交付设备后）

1）审批图纸普通纸1份

2）工艺表普通纸1份

3）操作说明书洁净纸1份普通纸1份

4）采购品操作说明书普通纸1份

5）验收试验数据洁净纸1份普通纸1份

6）电气原理图洁净纸1份普通纸1份

7）序列梯形图*未使用

8）耗材清单洁净纸1份普通纸1份

9）保养（维护）要领书洁净纸1份普通纸1份