该紫外线照射光源采用氙灯作为光源，使用紫外线冷镜和光学集成商，是一种均匀性良好的光源，仅选择特定偏转光进行照射的光源装置。

该紫外线照射光源采用氙灯作为光源，使用紫外线冷镜和光学集成商，是一种均匀性良好的光源，仅选择特定偏转光进行照射的光源装置。

2. 设备名称/型号

紫外线偏振曝光装置

型号：HC-300PUFM-50

3. 支持的产品尺寸

工作台尺寸：100mmx100mm

4. 设备尺寸

设备视图参考

5. 设备配置

本装置由以下内容构成。

1）照射光源部1台

2）1个灯亮电源

3）1个干扰滤波器（HBPF313）

4）试料平台1台

5）1台样品吸附泵箱

6）电缆类1式

7）1个Hg-Xe灯（300W）

8）维修镜光轴调整镜1张

6. 设备性能

1）照射光源部分

①使用灯：Hg-Xe300W（UXM-300YA）

②灯泡寿命：平均1000小时（保修500小时）

③照射光谱特性：250nm~500nm

④主波长：313nm

⑤照射照度：2~4mw/cm^2可变

※成为用照度计OAI-306测量了的313nm照度保证值。

⑥照射可变方法：通过手动可变（通过安装手动照度可变机构进行调整）

⑦照射面积：有效□50mm

⑧照射距离：约20mm

⑨照度分布：±10%以内（@照度2~4mw）

⑩消光比：50：1以上（消光比=S波：P波=χ：1）

（过滤器支架：φ50.8 mm过滤器用

（冷却：强制风冷

重量：50公斤左右

（涂装颜色：根据客户要求

（外形尺寸：见附图）

2）灯点亮电源部分

①输入电压：单相100V±10P/60Hz

②功耗：MAX.700 VA

③点亮控制：开关恒功率控制

④功率可变：约250~300W

⑤稳定度：±2%以内

⑥冷却：自然对流冷却

⑦重量：约5千克

⑧涂装颜色：根据顾客的要求

⑨外形尺寸：见附件附图

    ⑩快门控制：手动控制（通过开关任意开闭，通过计时器控制时间）

7. 干涉滤波器（HBPF313）

①1片313nm带通滤波器

通过安装高透射率干涉滤光器，可以选择照射波长。

1）LWPF：313nm/365nm/405nm/436nm4种

2）HBPF：254nm/313nm/365nm/405nm/436nm5种

8. 样品阶段

①样品尺寸：最大100mmx100mm

②高度调节机构：Z轴台架

③扇动机构：0~50度角度可变（1度单位）

④旋转机构：90度旋转机构

⑤吸附机构：防止试料脱落的吸附机构

※吸附用孔的构造是根据另外的碰头决定的

9. 样品吸附（真空）泵箱

①输入电压：单相100V（由电源部分供电）

②重量：约5Kg

③漆面颜色：黑色（面板面银色）

10. 安全措施

1）绝缘电阻：各异极间DC500V20MΩ以上

2）绝缘耐压：输入-输出间AC1000V1分钟

输出到最终聚集AC500V1分钟

3）泄漏电流：AC200V下2mA以下（1kΩ/0.15μF测量）

4）残余能量：在施加最大输入电压·空载的情况下，从电源关闭开始经过1分钟后，必须达到42V以下。

5）噪音对策：1μsec.±600V时不发生故障（正常共态）

6）联锁：灯点亮时，打开保养盖，灯OFF

照射时打开丙烯酸盖，关闭快门

11. 环境条件

1）使用环境

①环境温度：20℃~30℃

②相对湿度：65%Rh以下（无冷凝）

③清洁度：建议在1000级以下

2）保存环境

①环境温度：10℃~40℃

②相对湿度：80%Rh以下（无冷凝）

※请不要在有腐蚀性气体·多粉尘·可燃性的气氛和水滴的危险的环境中使用。（特别是在特殊环境下使用时，请咨询制造商。）

12. 实用

1）电源：单相100V±10P/60HzMAX10A

13. 消耗品

1）灯泡：平均寿命1000小时保证寿命500小时

类型名称：UXM-300YA

2）椭圆镜：平均寿命3000小时

寿命因使用环境而异

3）UV平面镜：平均寿命3000小时

寿命因使用环境而异

4）旋转螺线管：平均寿命200,000次

5）交换单元：平均寿命50,000小时

14. 验收条件

另行协商

15. 保证事项

对于我们设计和制造的交付设备，在验收后一年内出现的缺陷和故障，我们将迅速免费维修和更换。但是下列的情况不属于保证对象。

①因跌落或极度冲击而引起的故障和损伤

②在影响电路的灰尘多的地方使用状态下发生的故障和损坏

③因不当修理改造而引起的故障和损坏

④由于施加异常电压而引起的故障和损坏

⑤在腐蚀性气体环境中使用及因天灾引起的故障和损坏

⑥非消耗品指定零件的情况

⑦未按照操作说明使用的情况

⑧经调查发现使用方法异常的情况

⑨在规格之外运行的情况

⑩因灾害等原因发生故障的情况

※因使用本设备而造成的损坏或损失不在保修范围内

1）灯泡保修

在正常使用条件下，在亮灯累计500小时内不亮或损坏的，

免费交换。但是，由于灯破裂造成的光学元件损坏需要支付费用。

2）设备保修

除耗材外，在交付一年内按照使用说明书正常使用状态下

如果发生故障，将免费修理。

※本规格书的内容如有进一步变更，将制作并提交交付规格书。

16. 提交文件（决定交付设备后）

1）审批图纸普通纸1份

2）工艺表普通纸1份

3）操作说明书洁净纸1份普通纸1份

4）采购品操作说明书普通纸1份

5）验收试验数据洁净纸1份普通纸1份

6）电气原理图洁净纸1份普通纸1份

7）序列梯形图*未使用

8）耗材清单洁净纸1份普通纸1份

9）保养（维护）要领书洁净纸1份普通纸1份